螺桿真空泵在使用時常會用到氮氣進行填充，主要是因為用氮氣對泵進行吹掃，可以延緩腐蝕性氣體對泵的腐蝕，從而起到一個良好的保護作用。
?螺桿真空泵為什么要用氮氣，我們可以總結為以下幾個原因：
1、螺桿真空泵里沖入氮氣是為了在真空泵內壁形成微弱保護氣膜，氮氣壓力不宜過大，也不宜過小，過大會影響抽真空效果和增加能耗；過小可能導致形不成保護效果。
2、抽腐蝕性氣體的泵會用到氮氣，氮氣對泵進行吹掃，延緩腐蝕性氣體對泵的腐蝕。
3、是真空鍍膜工藝中用到的一些氣體對螺桿真空泵有腐蝕作用，所以會采用這種泵。但是墻體里通的氮氣和泵用的是分開的。
4、沖多少單位的氮氣后就能鍍膜出他們需要的顏色。有些顏色用乙炔。在實際運用中，多數使用氬氣。
5、氣密，稀釋制程氣體。減輕腐蝕及制程附著。
6、氮氣在沒有一定的溫度、壓力或者是催化劑等輔助條件下，很難與外界發生反應。因此在泵系統清洗過程中，利用氮氣吹掃，更為安全可靠。
7、氮氣的吸附熱小，吸附于物體表面的時間短。當氮氣吸附于螺桿真空泵的器壁表面時，將會很容易被抽走。真空系統清洗中的氮氣吹掃正式利用了它的這個特性。在真空鍍膜中，用干燥氮氣吹掃清洗過真空系統后，氮分子會首先吸附于真空系統的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾滿后，其他的分子如水分子等就會減少。因而真空系統的整個抽氣時間就會大大減少。
氮氣是一種穩定無害的氣體，可以很好的對螺桿真空泵起到保護作用，有效延長使用壽命，減緩腐蝕問題。
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